광학소자 제작방법 및 제작장치 FABRICATION METHOD AND APPARATUS FOR OPTICAL DEVICE

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dc.contributor.author서민교ko
dc.contributor.author송정환ko
dc.contributor.author이은광ko
dc.date.accessioned2017-12-20T01:42:41Z-
dc.date.available2017-12-20T01:42:41Z-
dc.date.issued2017-04-05-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/229966-
dc.description.abstract본 발명은 수 나노미터 수준의 정밀도로 광학소자를 제작할 수 있는 광학소자 제작방법 및 제작장치에 관한 것으로, 전자빔에 의해 휘발성 부분과 비휘발성 부분으로 분해되는 유기 전구체를 진공챔버에 도입하고 기판에 전자빔을 조사함으로써 분해된 비휘발성 부분이 기판에 증착되어 광학소자를 형성하도록 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 제작방법 및 제작장치에 따르면, 수 나노미터 수준의 정밀도로 광학소자를 제작할 수 있고, 평평하지 않은 기판에도 광학소자를 형성할 수 있으며, 복잡한 3차원 구조의 광학소자를 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 구조 튜닝이 가능한 효과가 있다.-
dc.title광학소자 제작방법 및 제작장치-
dc.title.alternativeFABRICATION METHOD AND APPARATUS FOR OPTICAL DEVICE-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor서민교-
dc.contributor.nonIdAuthor송정환-
dc.contributor.nonIdAuthor이은광-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2014-0172303-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1725768-0000-
dc.date.application2014-12-03-
dc.date.registration2017-04-05-
dc.publisher.countryKO-
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