광학소자 제작방법 및 제작장치 FABRICATION METHOD AND APPARATUS FOR OPTICAL DEVICE

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본 발명은 수 나노미터 수준의 정밀도로 광학소자를 제작할 수 있는 광학소자 제작방법 및 제작장치에 관한 것으로, 전자빔에 의해 휘발성 부분과 비휘발성 부분으로 분해되는 유기 전구체를 진공챔버에 도입하고 기판에 전자빔을 조사함으로써 분해된 비휘발성 부분이 기판에 증착되어 광학소자를 형성하도록 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 제작방법 및 제작장치에 따르면, 수 나노미터 수준의 정밀도로 광학소자를 제작할 수 있고, 평평하지 않은 기판에도 광학소자를 형성할 수 있으며, 복잡한 3차원 구조의 광학소자를 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 구조 튜닝이 가능한 효과가 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2017-04-05
Application Date
2014-12-03
Application Number
10-2014-0172303
Registration Date
2017-04-05
Registration Number
10-1725768-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/229966
Appears in Collection
PH-Patent(특허)
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