저온 대기압 플라즈마를 통한 광전극 및 염료감응 태양전지 제조 방법Fabrication method of photo electrode and dye-sensitized solar cell by low temperature atmospheric pressure plasma
본 발명은 저온에서 효과적으로 TiO2의 소결을 이루어 광전극 및 염료감응 태양전지를 제조하는 방법을 제공하는 것이다. 본 발명에서는 기존의 500 oC에서 1시간 동안 열처리되어 플렉시블 기판과 같은 저온 공정이 요구될 때의 처리 한계를 저온의 대기압 플라즈마를 통해 해결함으로써 새로운 염료감응 태양전지의 공정기술을 제안한다. 특히 대기압 플라즈마를 통한 저온 소결공정은 기존의 방법에 비해 얇은 박막의 태양전지 개발은 물론, 공정 시간도 단축할 수 있어 경제 가치가 매우 높다.