귀금속 단결정 나노와이어 및 그 제조방법 Noble Metal Single Crystalline Nanowire and the Fabrication Method Thereof)

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본 발명은 귀금속산화물, 귀금속물질 또는 할로겐화귀금속을 선구물질로 이용한 귀금속 나노와이어의 제조방법 및 귀금속 나노와이어를 제공하며, 상세하게는 반응로의 전단부에 위치시킨 선구물질과 반응로의 후단부에 위치시킨 반도체 또는 부도체 단결정 기판을 불활성 기체가 흐르는 분위기에서 열처리하여 상기 단결정 기판 상에 귀금속 단결정 나노와이어를 형성시키는 제조 방법 및 본 발명의 제조 방법에 의해 제조된 귀금속 나노와이어를 제공한다. 본 발명의 제조방법은 촉매를 사용하지 않는 기상이송법을 이용하여 귀금속 나노와이어를 제조할 수 있어 그 공정이 간단하고 재현성이 있으며, 제조된 나노와이어가 결함 및 불순물을 포함하지 않는 완벽한 단결정 상태의 고순도 고품질 귀금속 나노와이어인 장점을 가지며, 단결정 기판 상에 응집되어 있지 않은 균일한 크기의 귀금속 나노와이어를 대량생산할 수 있는 장점이 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2009-06-30
Application Date
2007-06-29
Application Number
10-2007-0065030
Registration Date
2009-06-30
Registration Number
10-0906503-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/228230
Appears in Collection
CH-Patent(특허)
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