학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 화학과, 2013.2 ,[x, 138 p. :]
Si-containing photoresist; photolithography; bilayer system; block copolymer lithography; self-assembly monolayer; 실리콘 함유 포토레지스트; 포토 리소그리피; 이중층 공정; 블록 공중합체 리소그래피; 자기조립 단분자막
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