학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과, 2011.2, [ vii, 92 p. ]
비 주기적 스케줄링; 클러스터 장비; 페트리 넷; 가용 시간 제약; Non-cyclic scheduling; Cluster tool; Petri net; Ready time constraints; Small lot production; 소 로트 웨이퍼 제조
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