다결정 실리콘 스트레인 게이지를 이용한 3축 힘센서

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Publisher
한국MEMS 학술대회 운영위원회
Issue Date
2009-04-02
Language
KOR
Citation

제11회 한국 MEMS 학술대회, pp.145 - 146

URI
http://hdl.handle.net/10203/161163
Appears in Collection
AE-Conference Papers(학술회의논문)
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