축전결합형 플라즈마를 이용한 실리콘 나노입자의 생성 및 밀도 측정

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Issue Date
2005-04
Language
KOR
Citation

제81회 한국물리학회 봄 학술발표대회

URI
http://hdl.handle.net/10203/144595
Appears in Collection
NE-Conference Papers(학술회의논문)
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