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11
공정모듈 작업시간의 변동이 있는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of dual-armed cluster tools with process time variationlink

최우성; Choi, Woo-seong; et al, 한국과학기술원, 2010

12
다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 및 모델링 = Steady state scheduling and modeling of multi-slot cluster toolslink

정치현; Jung, Chi-Hyun; 이태억researcher; 김영대; et al, 한국과학기술원, 2006

13
다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 분석 = Steady state scheduling analysis of multi-slot cluster toolslink

김용문; Kim, Yong-Moon; et al, 한국과학기술원, 2003

14
병렬 챔버간 이송시간이 다른 양팔 클러스터 장비의 주기적 스케줄링 = Cyclic scheduling of dual-armed cluster tools with different wafer transport times between parallel chamberslink

김대규; Kim, Dae-Kyu; et al, 한국과학기술원, 2009

15
소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink

김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011

16
소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink

김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011

17
이벤트 그래프의 시간적 안정성 = Timing stability of a timed event graphlink

이석현; Lee, Seok-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2009

18
재방문 물류흐름을 갖는 양 팔 클러스터 장비의 운용전략 = Operating strategies for dual-armed cluster tools with reentrant job flowslink

김수곤; Kim, Su-Gon; et al, 한국과학기술원, 2004

19
중간 버퍼를 갖는 클러스터 장비의 운용 전략 = Operating strategies for cluster tools with intermediate bufferslink

백진흠; Paek, Jin-Heum; et al, 한국과학기술원, 2002

20
챔버 클리닝 공정을 포함하는 다중 슬롯 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of multi-slot cluster tools with chamber cleaning operationlink

지영준; 이태억; et al, 한국과학기술원, 2017

21
클러스터 장비의 제어기와 스케쥴러 개발을 위한 가상 클러스터 장비 모델 = A virtual cluster tool model for cluster tool controller and scheduler developmentlink

주용재; Joo, Yong-Jae; et al, 한국과학기술원, 2001

22
후 공정을 고려한 양 팔 클러스터 장비의 스케줄링과 제어 = Scheduling and control of dual-armed cluster tools with post processeslink

김희정; Kim, Hee-Jung; 이태억researcher; 김영대; et al, 한국과학기술원, 2006

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