Showing results 1 to 2 of 2
금속흡착에 의한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 저온 결정화에 관한 연구 = A study on low temperature crystallization of LPCVD amorphous Si using metal adsorption methodlink 손동균; Sohn, Dong-Kyun; et al, 한국과학기술원, 1997 |
화학적 산화막 중간층을 이용한 비정질 Si 박막의 기상유도결정화 연구 = Vapor induced crystallization of amorphous Si flims using chemical oxide interlayerlink 안경민; Ahn, Kyung-Min; et al, 한국과학기술원, 2006 |
Discover