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1
Feedback control of cluster tools with time constraints = 시간 제약을 가지는 클러스터 장비의 피드백 제어link

Kim, Chulhan; 김철한; et al, 한국과학기술원, 2015

2
Operational modeling and scheduling of cluster tools = 클러스터 장비의 운영 모델링 및 스케줄링link

Shin, Yong-Ho; 신용호; et al, 한국과학기술원, 2003

3
Optimal Scheduling by Workload Analysis for Cluster Tools = 워크로드 분석에 의한 클러스터 장비의 최적 스케쥴링link

Kim, Dae-Kyu; 김대규; et al, 한국과학기술원, 2013

4
Scheduling and control of timed-constrained cluster tools with time variation = 시간 변동과 시간 제약이 있는 클러스터 장비 스케줄링과 제어link

Kim, Tae-Kyu; 김태규; et al, 한국과학기술원, 2009

5
Scheduling and timing control of time-constrained cluster tools = 체재시간 제약을 갖는 클러스터장비의 스케줄링 및 시점제어link

Kim, Ja-Hee; 김자희; et al, 한국과학기술원, 2003

6
Scheduling cluster tools for concurrent processing of multiple wafer types = 복수 웨이퍼 혼류생산을 위한 클러스터 장비 스케줄링link

Lee, Jun-Ho; 이준호; et al, 한국과학기술원, 2013

7
Scheduling cluster tools with chamber cleaning for semiconductor manufacturing = 챔버 클리닝을 고려한 반도체 제조용 클러스터 장비의 스케줄링link

Yu, Tae-Sun; 유태선; et al, 한국과학기술원, 2017

8
Scheduling of a dual-armed cluster tool with two independently working robot arms = 독립적으로 움직이는 두 로봇 팔을 갖는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링link

Tonke, Daniel; Tonke, H.D.; et al, 한국과학기술원, 2010

9
Scheduling of cluster tools with independent dual-arm under wafer delay constraints = 체재시간 제약을 가지는 독립된 두 팔 클러스터 장비의 스케줄링link

Kwon, Yongmin; Lee, Tae-Eog; et al, 한국과학기술원, 2017

10
Scheduling of dual independent armed cluster tool with unbalanced workload = 독립적인 두팔을 가진 클러스터 장비의 불균형한 워크로드 스케쥴링link

Sheen, Dong Yup; 신동엽; et al, 한국과학기술원, 2015

11
공정모듈 작업시간의 변동이 있는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of dual-armed cluster tools with process time variationlink

최우성; Choi, Woo-seong; et al, 한국과학기술원, 2010

12
다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 및 모델링 = Steady state scheduling and modeling of multi-slot cluster toolslink

정치현; Jung, Chi-Hyun; 이태억researcher; 김영대; et al, 한국과학기술원, 2006

13
다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 분석 = Steady state scheduling analysis of multi-slot cluster toolslink

김용문; Kim, Yong-Moon; et al, 한국과학기술원, 2003

14
병렬 챔버간 이송시간이 다른 양팔 클러스터 장비의 주기적 스케줄링 = Cyclic scheduling of dual-armed cluster tools with different wafer transport times between parallel chamberslink

김대규; Kim, Dae-Kyu; et al, 한국과학기술원, 2009

15
소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink

김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011

16
소 로트 웨이퍼 제조를 위한 가용시간 제약이 있는 클러스터 장비의 스케줄링 방법 = Scheduling of cluster tools with ready time constraints for small lot wafer fabricationlink

김현정; Kim, Hyun-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011

17
이벤트 그래프의 시간적 안정성 = Timing stability of a timed event graphlink

이석현; Lee, Seok-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2009

18
재방문 물류흐름을 갖는 양 팔 클러스터 장비의 운용전략 = Operating strategies for dual-armed cluster tools with reentrant job flowslink

김수곤; Kim, Su-Gon; et al, 한국과학기술원, 2004

19
중간 버퍼를 갖는 클러스터 장비의 운용 전략 = Operating strategies for cluster tools with intermediate bufferslink

백진흠; Paek, Jin-Heum; et al, 한국과학기술원, 2002

20
챔버 클리닝 공정을 포함하는 다중 슬롯 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of multi-slot cluster tools with chamber cleaning operationlink

지영준; 이태억; et al, 한국과학기술원, 2017

21
클러스터 장비의 제어기와 스케쥴러 개발을 위한 가상 클러스터 장비 모델 = A virtual cluster tool model for cluster tool controller and scheduler developmentlink

주용재; Joo, Yong-Jae; et al, 한국과학기술원, 2001

22
후 공정을 고려한 양 팔 클러스터 장비의 스케줄링과 제어 = Scheduling and control of dual-armed cluster tools with post processeslink

김희정; Kim, Hee-Jung; 이태억researcher; 김영대; et al, 한국과학기술원, 2006

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